行业案例
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案例 ｜真空泵转子轴加工（NHM series）
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案例 ｜真空泵转子轴加工（NHM series）
所属分类：
真空装置
产品描述
半导体设备零部件加工参考案例——真空泵转子轴加工
真空装置是半导体前道设备的核心，腔体、阀门、密封件都在真空环境下长期连续运行。这类零部件的材料以不锈钢、铝为主，也有陶瓷和铬镍铁合金等难切削材料，加工上有三个突出难点：真空精密度要求高、大量重切削、设备常常不休息连续加工大型工件。因此选型重点看床身刚性和主轴结构——迪恩机床对应方案是高刚性卧式加工中心 NHM series 和多功能龙门式加工中心 DCM II series。据迪恩机床资料，韩国 IT 产业每年所需机床的 80% 以上由迪恩机床提供（以 2017~2018 年 KOMMA 资料为基础推断）。
在半导体设备零部件领域，绅名科技面向真空设备、晶圆传输、封装测试等客户，提供从机型选型、工艺方案到售后保障的一站式服务。
前工序——真空装置 : 迪恩机床为加工精度要求极高的真空设备制造提供了多种解决方案。
- 真空装置加工案例 C4｜ 真空泵转子轴加工（NHM series卧式加工中心）
真空泵转子轴涉及偏心加工，对刚性和精密度要求高。用 NHM series 的工程应用配置加工。
- 主要材料：金属
- 加工特征：偏心加工、高刚性、高精密度
- 关键技术：伺服马达驱动自动换刀装置，可装载 25~30 kg 刀具，刀具到刀具换刀 2 秒
- 主轴冷却装置维持均衡的主轴温度；最大刀具 320 × 530 ~ 320 × 700 mm
半导体产业 解决方案
为了制造出细微的结构，半导体产业需要加工复杂多样的材料以及较高的加工精度。迪恩机床为每道工序提供了专门的加工解决方案，为确保半导体的质量和稳定性做出了贡献。
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