案例 |密封件 / 波纹管加工(DNM series)
密封件和波纹管要求高精密度、形状多样。用全球标准立式加工中心 DNM series 加工,工作台规格和承载能力覆盖面广。
关键词:
案例 |密封件 / 波纹管加工(DNM series)
所属分类:
真空装置
产品描述
半导体设备零部件加工参考案例——密封件 / 波纹管加工
真空装置是半导体前道设备的核心,腔体、阀门、密封件都在真空环境下长期连续运行。这类零部件的材料以不锈钢、铝为主,也有陶瓷和铬镍铁合金等难切削材料,加工上有三个突出难点:真空精密度要求高、大量重切削、设备常常不休息连续加工大型工件。因此选型重点看床身刚性和主轴结构——迪恩机床对应方案是高刚性卧式加工中心 NHM series 和多功能龙门式加工中心 DCM II series。据迪恩机床资料,韩国 IT 产业每年所需机床的 80% 以上由迪恩机床提供(以 2017~2018 年 KOMMA 资料为基础推断)。
在半导体设备零部件领域,绅名科技面向真空设备、晶圆传输、封装测试等客户,提供从机型选型、工艺方案到售后保障的一站式服务。
前工序——真空装置 : 迪恩机床为加工精度要求极高的真空设备制造提供了多种解决方案。

- 真空装置加工案例 C2| 密封件 / 波纹管(DNM series立式加工中心)
密封件和波纹管要求高精密度、形状多样。用全球标准立式加工中心 DNM series 加工,工作台规格和承载能力覆盖面广。
- 主要材料:不锈钢 / 陶瓷 / 铝 / 铬镍铁合金
- 加工特征:高精密度、形状多样
- 机床规格:工作台 1000 × 450 ~ 2200 × 670 mm,承载 600~1300 kg,承载能力较早期型号提升 30%
- 切削性能示例:ø80 平面铣刀切屑去除率 527 cm³/min(碳钢)/ 1901 cm³/min(铝);攻丝 M36 × P4.0
- 适用机型:DNM 4500 / 5700 / 6700 / 6700L / 6700XL

半导体产业 解决方案
为了制造出细微的结构,半导体产业需要加工复杂多样的材料以及较高的加工精度。迪恩机床为每道工序提供了专门的加工解决方案,为确保半导体的质量和稳定性做出了贡献。

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